제품소개
Wafer Loader / Wafer Unloader
모델명
EWL-100 / EWU-100
장비명
Wafer Loader / Wafer Unloader
장비개요
Loader : Wafer Cassette에 적재된 Wafer를 후단에 있는 장비로 자동 공급하는 장비.
Unloader : 생산 공정 중 마지막에 위치하여 Wafer를 Wafer Cassette에 자동으로 적재하는 장비.
장비특징
1. 조작반 터치스크린
2. 부져 기능이 포함된 3색 경광등
3. Lift Up/Down 서보 모터 (정밀 제어)
4. Wafer Cassette 적재 수량 : 1개
5. SMEMA Spec 1.2 준수
| Model | EWL-100 | EWU-100 |
| Wafer Size (inch) | 6" & 8" | |
| Machine Dimension (LxWxH, mm) | 560x475x1200 | |
| Weight (kg) | 100 | |
* 옵션 장비 사양 문의 sales@eunil.com